最适合用于光刻胶的红外灯

在光刻工艺中，对光阻进行烘烤的过程并非简单的预热步骤，而实际上是一种精确控制热量的过程。如果烘烤温度出现哪怕一两度的偏差，那么关键尺寸的精度就会受到影响。再加上颗粒产生的问题，那整个生产过程就全完了。因此，需要使用能够提供稳定热量的红外光源——不能有任何随机性。 从技术角度来说，什么才是重要的？...