光伏硅片加热器

在芯片制造过程中，光刻胶烘烤时的温度偏差即使只有0.5℃，也足以导致整批产品报废。此时，晶圆无法继续加工，设备也无法正常使用，整个生产计划也会受到影响。我们设计的这种光伏硅晶圆加热器，正是为了解决这一问题而诞生的。 其核心原理在于利用石英材料制成的热源，发出短波红外线，从而确保晶圆表面的温度均匀性...