洁净室工作台红外灯

别再等待烤箱升温了：为什么在半导体加工中，红外技术比强制对流方式更优？ 如果你曾在半导体实验室工作过，那么你一定了解等待热空气循环所带来的烦恼。这真是一种折磨。强制对流方式其实就是一种等待的过程：先加热空气，然后再加热整个腔室，最后——如果运气好的话——才能加热被处理的芯片。这个过程非常缓慢，在高...