用于半导体的石英卤素加热灯

在制造车间里，哪怕是0.5度的温度偏差，都足以让光刻胶的厚度发生纳米级的变化。这样一来，关键尺寸的控制就会失灵。晶圆无法正常加工，设备也处于闲置状态，而原本以为可以控制的温度也不再可控了。 真正重要的因素是什么？ 我们为半导体加热器设计石英卤素灯，这类灯泡具有对短波红外线的良好响应能力，同时石英材...