应用材料设备用红外灯

在晶圆厂车间，热漂移不会像警报声或停机那样直接显现。它表现为关键尺寸的偏移、边缘珠变薄，或是需要数小时回溯的良率下降。在Applied Materials的设备中，加热器不能成为另一个变量——它必须是工艺依赖的常数。 技术重点 我们将红外灯规格设定为Applied Materials平台的匹配热源...