红外灯用铝制反射器
别再浪费能源了:为什么镀金反射器如此重要 如果你从事半导体晶圆加工工作,那么每一瓦特的能量都至关重要。最令人沮丧的是,由于反射器的性能不足,宝贵的能源白白流失在机器内部。
大多数工厂仍然使用普通的铝合金作为反射面。虽然这是最常见的选择,但问题在于:对于长波红外线来说,铝合金的反射效果并不理想,太多...
晶圆固化灯反光罩
在晶圆制造车间,光刻胶烘烤不仅仅是另一个热处理步骤——它代表你的热预算。即使偏离目标半摄氏度,也会导致关键尺寸漂移和产率下降,一批接一批。这个热预算的控制点就在热量分布处:晶圆固化灯中的反射镜。
技术关键点
我们设计的反射镜匹配卤素和短波红外(IR)光源的光谱特性,使能量准确照射在晶圆表面,避免额...