为什么陶瓷端帽对红外发射器如此重要？ 如果您希望减少半导体制造过程中的能源消耗，那么就必须停止浪费能源。对我们大多数人来说，这意味着需要关注红外发射系统。不过，要让这些系统更高效地运行，仅仅调整软件是不够的——还必须关注那些负责承受热量的硬件部件。 具体来说，就是陶瓷端帽。 保持低温与稳定状态 实...

在工厂车间，PECVD腔体烘烤曲线的0.5°C漂移并不是一个附注。它表现为晶圆上的厚度不均匀、应力异常以及大量的废料。你需要的是跟随工艺的热量，而不是反过来。 背后的关键因素 我们在短波NIR的基础上构建了PECVD加热红外发射器，因为响应时间是以秒来计算，而不是以分钟。目标是在烘烤区域内实现晶圆...