如何让工件保持干燥，同时避免污染？ 如果您在操作100级洁净室，那么您一定了解颗粒物带来的危害。哪怕是一小块来自廉价加热元件的碎片，或是低质量灯管释放出的微量气体，都可能毁掉您的晶圆，从而导致产量下降。这无疑是一场灾难。 正因如此，我们选择使用高纯度的合成石英来制造红外灯。这样就能确保环境的清洁。...

为什么红外线加热比热风加热更适用于MEMS晶圆干燥？ 如果您仍在使用热风循环方式来干燥MEMS传感器晶圆，那您其实是在浪费大量时间在等待上。这无疑是一个效率低下的方法。 热风加热依赖于对流原理：首先需要加热空气，然后再让空气去加热晶圆。这种过程存在中间环节，因此效率较低。而红外线加热则不同——它直...

在晶圆制造过程中，一个微小的水渍都可能对光刻后的晶圆造成严重损害。传统的干燥方式会导致温度波动，同时，颗粒物也会从高温表面附着在晶圆上。我们设计了去离子水干燥系统，以此来消除这些问题。短波红外线能够快速加热水膜的表面，而不会影响到光阻层。这样一来，晶圆就能得到彻底的干燥处理，而且整个干燥过程的温度...

从清洗槽出来时，晶圆表面带有一层去离子水膜。干燥炉必须将这层水分去除，同时避免光刻胶受热变质或产生颗粒。如果定时器出现漂移，停留时间会随之变化——这会直接反映在线上良率的波动中。因此，我们设计了一款用于晶圆干燥炉的定时器，以保持工艺的稳定性。 技术要求 该定时器适用于半导体热处理设备。定时精度达到...