晶圆干燥炉计时器

从清洗槽出来时，晶圆表面带有一层去离子水膜。干燥炉必须将这层水分去除，同时避免光刻胶受热变质或产生颗粒。如果定时器出现漂移，停留时间会随之变化——这会直接反映在线上良率的波动中。因此，我们设计了一款用于晶圆干燥炉的定时器，以保持工艺的稳定性。 技术要求 该定时器适用于半导体热处理设备。定时精度达到...