अपने ओवन का इंतज़ार करना बंद करें: सेमी-प्रोसेसिंग में IR क्यों बेहतर है?
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर प्रयोगशाला में समय बिताया है, तो आपको गर्म हवा के घूमने का इंतज़ार करने की परेशानी का अहसास होगा। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है। “फोर्स्ड एयर” तकनीक में पहले हवा को गर्म किया जाता है, फिर चैंबर को… और अंत में ही सब्सट्रेट को। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है, और उच्च-दबाव वाले उत्पादन वातावरण में ऐसा इंतज़ार लगभग अनंत ही लगता है।
यहीं पर क्लीन रूम में उपयोग होने वाले इन्फ्रारेड लैंप आते हैं। इन लैंपों के द्वारा ऊर्जा सीधे ही लक्षित सतह पर पहुँचती है… पूरे कमरे को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है।
यह तो बिल्कुल ही अलग अनुभव है।
जब आप कन्वेक्शन ओवन से इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करना शुरू करते हैं, तो आप पूरे कमरे की हवा के बजाय केवल सतह को ही गर्म करते हैं। ऐसे लैंप कुछ ही सेकंडों में अपना कार्य-तापमान हासिल कर लेते हैं… अब आपको “वॉर्म-अप साइकल” पूरा होने का इंतज़ार नहीं करना पड़ता। इससे आपकी टीम को हर वेफर पर खर्च होने वाला समय कम हो जाता है… आप तेज़ी से काम कर सकते हैं।
लेकिन, इसमें एक समस्या है…
चूँकि ऐसे लैंपों में बहुत अधिक ऊर्जा होती है, इसलिए वे बहुत अधिक गर्मी पैदा करते हैं। आप ऐसे लैंपों को उस जगह पर नहीं रख सकते, जहाँ ठंडी हवा हो… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी HVAC प्रणाली इस गर्मी को संभाल सके… वरना आप एक समस्या को दूसरी समस्या से बदल रहे हैं।
फिर तो स्वच्छता का मुद्दा भी है…
फैनों के कारण धूल इधर-उधर उड़ती रहती है… जो कि क्लीन रूम में बिल्कुल ही अनुचित है। इन्फ्रारेड लैंप हवा को नहीं हिलाते… ये शांत एवं स्वच्छ हैं।
हमें सबसे अधिक लाभ तो “सूखने”, “डीगैसिफिकेशन” जैसी प्रक्रियाओं में ही दिखता है… चैंबर के “संतृप्त होने” का इंतज़ार करने के बजाय, इन्फ्रारेड लैंप सीधे ही सामग्री को गर्म कर देते हैं… यह बहुत ही तेज़ एवं प्रभावी तरीका है। जो भी संयंत्र गुणवत्ता को बनाए रखते हुए अधिक वेफरों को तेज़ी से प्रसंस्कृत करना चाहता है, वह आमतौर पर सबसे पहले ही इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करना शुरू करता है।