
如何让工件保持干燥,同时避免污染?
如果您在操作100级洁净室,那么您一定了解颗粒物带来的危害。哪怕是一小块来自廉价加热元件的碎片,或是低质量灯管释放出的微量气体,都可能毁掉您的晶圆,从而导致产量下降。这无疑是一场灾难。
正因如此,我们选择使用高纯度的合成石英来制造红外灯。这样就能确保环境的清洁。
为什么石英如此适用?
我们选用熔融石英,因为它在温度变化时不会出现问题。它的热膨胀系数极低,也就是说,当它被快速加热或冷却时,也不会出现裂纹。
更棒的是,它在受热时不会释放出任何挥发性有机化合物。这样就能确保只有纯净的红外光输出,不会对工件造成任何化学污染。
专为洁净室设计
这些灯采用了密封结构,没有多孔材料,也就不会成为灰尘的藏身之处。其表面如同玻璃般光滑,因此颗粒物无法附着在其上。
此外,我们对电路设计也极为重视。通常,连接点就是问题产生的地方——因为金属碎片容易从这里进入生产区域。我们使用了特殊的连接器来防止这种情况发生。
需要注意的事项
说实话,高纯度石英其实很脆弱。虽然它能很好地承受高温,但却不耐撞击。如果工作环境中有大量的机械振动,那就需要使用减震装置来固定灯具。另外,也不要把灯具紧紧地固定在壳体内,它需要一定的空间来膨胀,否则就会断裂。
对您来说的好处
由于我们使用的是短波红外线,所以可以直接加热工件表面,从而避免浪费能量在加热空气上。这对于您的暖通空调系统和过滤系统来说是个巨大的优势。此外,设备的启动时间也会更快,干燥装置的体积也会更小。整体而言,这会让整个工作流程更加高效。