太陽光発電用シリコンウェーハヒーター

ファブ内では、フォトレジストの焼成中に0.5℃でも温度が変動するだけで、生産されたウェーハ全体が廃棄処分されてしまいます。ウェーハはそのまま放置され、装置も無駄に動き続け、スケジュールにも影響が出ます。私たちは、このような不確実性を排除するために、専用の太陽電池用シリコンウェーハ加熱器を開発しまし...