持続可能なファブ製造ソリューション

シャードの発生を防ぐ：ウェーハを破壊しないIRランプの設計 高負荷の製造環境では、IRランプが故障すると大変な問題になります。停電だけが問題なわけではありません。問題は、石英管が破損することでウェーハにガラスの破片や微粒子が付着してしまうことです。これは完全な災害です。 私たちは、そのような事態を...