カーボンファイバーIRを活用して、スマートファブを真に「スマート」なものにするには？ スマートファブを構築する際、Industry 4.0の流行に流されがちです。しかし実際には、単にヒーターを購入するだけではありません。つまり、データポイントを設置しているのです。 そのため、私たちはカーボンファイ...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされた反射板がウェーハにとって重要なのか シリコンウェーハを加熱する際、1ワットずつも大切です。 多くの人々は、一般的な研磨済みステンレス製のハウジングを使用していますが、問題は、そうしたハウジングが余計なエネルギーを吸収してしまうことです。まるで、暗い壁...

ウェーハにより多くの熱を与える方法（電力の無駄を避けて） 半導体製造工場で作業する際の目標は単純です。できるだけ多くの熱エネルギーをウェーハの表面に届け、1ワットたりとも無駄にしたくないのです。 しかし、通常のクォーツランプの場合、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。反射板がなければ、エネルギ...

なぜ製造現場で対流式加熱を放棄し、赤外線加熱を採用するのか 現代の生産ラインに適応させるためにクリーンルームの設備をアップグレードする際、通常は2つの課題に直面します。1つは鉛を含む素材の使用を避けること、もう1つは過度なエネルギー消費を抑えることです。 古い対流式オーブンは問題があります。空気を...

シャードの発生を防ぐ：ウェーハを破壊しないIRランプの設計 高負荷の製造環境では、IRランプが故障すると大変な問題になります。停電だけが問題なわけではありません。問題は、石英管が破損することでウェーハにガラスの破片や微粒子が付着してしまうことです。これは完全な災害です。 私たちは、そのような事態を...

汚れを起こさずにウェーハを乾燥させる方法 もし、クラス100の清浄室を運営しているなら、粒子が飛び散ってしまうという悩みはよく知っているでしょう。安価なヒーターから出る微小な破片や、品質の低いランプから出るガスだけで、ウェーハが破損してしまいます。その結果、生産効率が低下し、大変な事態になります。...

もう、エアヒーターが温まるのを待つ必要はありません。IRやクォーツの力を活用しましょう。 正直言って、空気が温まるのを待つのは非効率的です。半導体製造工場では、その数秒間の「無駄な時間」が積み重なり、全体の工程が遅くなってしまいます。 だからこそ、私たちは短波長の赤外線ランプと高純度のクォーツ製シ...

この最高評価を受けているRTPランプは、アメリカや日本の大手メーカー製品にも匹敵する性能が求められるファブ環境で安定して動作するように設計されています。嬉しいことに、そのような高水準の性能を得るために高額な費用を支払う必要はありません。 電力、電圧、サイズ：実際の使用状況を考慮した設計 急速熱処理...