高精度温度ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストの焼成中に0.5度の揺れがあるだけで、重要な寸法が変わり、ロットが廃棄品になる可能性があります。だからこそ、私たちはヒーターを一つのポイントの周りに構築しました：熱的安定性は「持っていると良いもの」ではなく、プロセスそのものです。 技術的に重要なこと 私たちは、チャ...