なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか 半導体製造において二酸化炭素排出量を削減したいのであれば、エネルギーの無駄遣いを止める必要があります。それだけです。私たちの場合、それはIRエミッターシステムを見直すことを意味します。しかし、そのシステムを効率的に動作させるために...

ファブフロアでは、PECVDチャンバーのベークプロファイルにおける0.5℃のドリフトは、単なる脚注ではありません。これは、ウェーハ全体の厚さの不均一性やストレスの不均一性を引き起こし、多くのロットが廃棄される原因となります。プロセスに従う熱が必要であり、その逆ではないのです。 内部で重要なこと 私...