露光後ベーク PEB ヒーター

リソグラフィーの工程において、PEBステップではウェハの線幅を正確に制御する必要があります。ウェハ上の温度を0.5°Cだけ変化させるだけで、何週間もかけて調整しなければならないバイアスが生じてしまいます。このポストエクスポージャーベイクヒーターを使えば、そのような不確定要素を排除できます。 内部で...