製造現場では、フォトレジストのソフトベイクやウェーハの乾燥時に1℃程度の温度変動があっただけで、重要な寸法が変わり、歩留まりが低下してしまいます。そのため、ウェーハ処理装置に搭載されている赤外線ランプのソケットは、熱管理を正確に行うために設計されています。 内部で何が重要か 私たちは、高純度の石英...

ファブフロアでは、熱ドリフトはサイレンや停止として現れるわけではない。重要寸法がズレたり、エッジビードが薄くなったり、歩留まりの低下が数時間かけて原因追跡される形で現れる。Applied Materialsの装置において、ヒーターは変動要因であってはならず、プロセスが依存できる一定の存在でなければ...