脱イオン水用乾燥ランプ

ファブの現場では、リソグラフィーの後に発生するわずかな水分が大きな問題を引き起こすことがあります。従来の乾燥方法では温度が不安定であり、粒子が熱い表面から直接フィルム内に入ってしまいます。私たちは、そのような不確実性を排除するために脱イオン水を用いた乾燥装置を開発しました。短波長の赤外線が水膜に素...