フレキシブル電子基板ヒーター

ライン上では、フォトレジストのベーク温度がわずかにずれるだけで、フレキシブルエレクトロニクスの生産が横滑りします。300 mmウェハ全体で、数十分の1度の差がライン幅のにじみを引き起こし、計測でバッチが問題視されるまで気づきません。そうなると、すでにスクラップになっています。必要なのは、全基板でレ...