半导体洁净室推车式加热器
别再等待加热器了:为何在洁净室中,红外线加热比强制对流加热更高效 如果你曾经负责将晶圆或基板在不同处理阶段之间搬运,那么你就知道其中的麻烦了。你必须不断努力来维持温度的稳定。大多数人仍然在使用那种老式的鼓风式加热器,它只是通过吹送热空气来加温而已。
说实话,这种方式效率极低。强制对流加热速度慢,而...
洁净室设备升级中
为什么我们在工厂中放弃传统对流加热,转而使用红外加热技术?
在为现代化生产线升级洁净室设备时,通常需要解决两个问题:一是淘汰含铅材料,二是减少能源浪费。传统的对流式烤箱存在诸多弊端——它们需要大量时间来加热空气,效率低下,而且还会导致能量四处流失。这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房子都变热一样。...
洁净室工作台红外灯
别再等待烤箱升温了:为什么在半导体加工中,红外技术比强制对流方式更优?
如果你曾在半导体实验室工作过,那么你一定了解等待热空气循环所带来的烦恼。这真是一种折磨。强制对流方式其实就是一种等待的过程:先加热空气,然后再加热整个腔室,最后——如果运气好的话——才能加热被处理的芯片。这个过程非常缓慢,在高...