Hãy ngừng chờ đợi lò nướng hoạt động đi: Tại sao công nghệ IR lại tốt hơn công nghệ sử dụng luồng khí ép trong quy trình xử lý bán dẫn?
Nếu bạn từng làm việc trong phòng thí nghiệm chế tạo bán dẫn, bạn chắc hẳn đã hiểu rõ cảm giác khó chịu khi phải chờ đợi luồng khí nóng lan tỏa khắp căn phòng. Đó là một quá trình chậm chạp và phiền toái. Công nghệ sử dụng luồng khí ép cũng vậy: trước tiên phải làm nóng không khí, sau đó mới làm nóng toàn bộ buồng xử lý; cuối cùng, nếu may mắn, mới có thể làm nóng chính vật liệu cần xử lý. Quá trình này diễn ra rất chậm, và trong môi trường sản xuất yêu cầu tính chính xác cao, sự chậm trễ này thật sự gây phiền toái.
Đó chính là lúc các loại đèn hồng ngoại được sử dụng. Thay vì làm nóng toàn bộ không khí trong phòng, đèn hồng ngoại chỉ tập trung năng lượng vào vị trí cần xử lý mà thôi.
Đó là một sự khác biệt rõ rệt.
Khi chuyển từ lò nướng thông thường sang thiết bị sử dụng đèn hồng ngoại, bạn không còn phải chờ đợi toàn bộ không khí trong phòng được làm nóng nữa. Những chiếc đèn này có thể đạt nhiệt độ hoạt động trong vài giây thôi. Bạn không còn phải chờ đợi nữa. Điều này giúp giảm thời gian xử lý từng tấm wafer. Bạn có thể tăng tốc độ xử lý, giảm thời gian chờ đợi, và thực sự tiến hành công việc một cách hiệu quả hơn.
Nhưng cũng có một vài hạn chế. Vì những chiếc đèn này tạo ra lượng nhiệt lớn trong một không gian nhỏ, nên chúng có thể gây ra tình trạng quá nhiệt. Bạn không thể đơn giản đặt chúng vào một vị trí mà ở đó có luồng khí mát, hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống thông gió và điều hòa không khí có thể xử lý được lượng nhiệt này; nếu không, bạn chỉ đang chuyển từ một vấn đề này sang vấn đề khác mà thôi.
Ngoài ra, còn có vấn đề về độ sạch. Quạt thổi khí sẽ khiến bụi bẩn bay lượn khắp nơi, điều này hoàn toàn không tốt trong một phòng sạch. Còn đèn hồng ngoại thì không làm di chuyển không khí. Nó giúp giữ cho không khí yên tĩnh và sạch sẽ.
Chúng tôi thấy rằng công nghệ hồng ngoại mang lại hiệu quả cao nhất trong các giai đoạn xử lý như làm khô, loại bỏ khí thừa… Thay vì chờ đợi buồng xử lý đạt đủ nhiệt độ, đèn hồng ngoại có thể tác động trực tiếp lên vật liệu cần xử lý. Đó là phương pháp nhanh chóng và hiệu quả. Đối với bất kỳ nhà máy nào muốn xử lý nhiều tấm wafer hơn mà vẫn giữ được chất lượng, đây chính là giải pháp tốt nhất.