もう、ヒーターを待つのはやめましょう。クリーンルームにおいて、なぜ赤外線が強制送風より優れているのか。 ウェーハや基板を処理工程間で移動させる作業を経験したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。温度を一定に保つために、常に努力が必要です。多くの人々は依然として、単に熱風を吹き付けるだけの...

安全を守るために：化学洗浄における赤外線ヒーターの活用 半導体の洗浄作業を行う際、実際には揮発性の溶剤や可燃性の蒸気と共に作業をしていることになります。ちょっとした火花やヒーター部品の微小な亀裂があれば、大きな問題が発生します。非常に危険です。 だからこそ、私たちは単にヒーターを作るだけでなく、耐...

ファブを清潔に保つための秘訣：熱に関する真実 もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな破片やガスが発生するだけで、製品の品質が大幅に低下してしまいます。 ほとんどの加熱要素は、このような状況には適していません。コーティングが剥がれたり、筐体...

なぜIRシステムにおいてPTFEケーブルが不可欠なのか 「スマートファブ」を構築しようとする場合、多くの時間をソフトウェアの設計に費やすことになります。しかし、ハードウェアが溶けてしまっては、どんなに優れたコードであっても意味がありません。 半導体の加熱処理を行う際、一般的なPVCケーブルはほとん...

半導体製造装置が過熱するのを防ぎましょう。 一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。狭い半導体製造装置内では、これは大変な問題です。その余分な熱が内壁に当たり、過熱した部分ができてしまい、装置が損傷したり、最悪の場合、作業員が火傷してしまうこともあります。 しかし、こ...

製造現場では、ソフトベイク時のわずか0.5度のずれだけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変化してしまいます。そうなると、重要な寸法制御が失われてしまいます。ウェーハが待機状態になり、装置も無駄になってしまいます。また、思っていたほどの熱管理もできなくなります。 内部で重要なのは何か 私た...

ファブ内では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥工程における熱変動は、単なる理論上の問題ではありません。実際には、それが不具合や歩留まりの低下として現れます。オーブンやホットプレートが規定の温度を保てないと、線幅の制御が乱れ、接着力が低下し、粒子の数も増えてしまいます。私たちは、半導体製造におい...