半導体用石英ハロゲンヒーターバルブ

製造現場では、ソフトベイク時のわずか0.5度のずれだけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変化してしまいます。そうなると、重要な寸法制御が失われてしまいます。ウェーハが待機状態になり、装置も無駄になってしまいます。また、思っていたほどの熱管理もできなくなります。 内部で重要なのは何か 私た...