ファブ内では、フォトレジストの焼成中に0.5℃でも温度が変動するだけで、生産されたウェーハ全体が廃棄処分されてしまいます。ウェーハはそのまま放置され、装置も無駄に動き続け、スケジュールにも影響が出ます。私たちは、このような不確実性を排除するために、専用の太陽電池用シリコンウェーハ加熱器を開発しまし...

洗浄浴槽から出てきたウェーハにはDI水の膜が付着している。乾燥炉はフォトレジストを焼き切ることなく、また粒子を飛散させることなく、その水分を除去しなければならない。タイマーがずれると滞留時間が変動し、それが生産ライン上で歩留まりの低下として現れる。そこで、ウェーハ乾燥炉用にプロセスの信頼性を維持す...