半導体製造装置が過熱するのを防ぎましょう。 一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。狭い半導体製造装置内では、これは大変な問題です。その余分な熱が内壁に当たり、過熱した部分ができてしまい、装置が損傷したり、最悪の場合、作業員が火傷してしまうこともあります。 しかし、こ...

製造現場では、ご存知の通り、ソフトベイクの際にわずか半度のずれがあっただけで、重要な寸法管理が崩れ、フォトレジストに欠陥が発生してしまいます。そのため、一定の性質を持つ熱源が必要であり、別の変数として扱われるような熱源は適していません。 技術的に重要な点 私たちが使用しているのは、金コーティングさ...