ファブを清潔に保つための秘訣：熱に関する真実
もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな破片やガスが発生するだけで、製品の品質が大幅に低下してしまいます。
ほとんどの加熱要素は、このような状況には適していません。コーティングが剥がれたり、筐体から微細な汚れがウェハーの通過経路に混入したりします。これは、災害が起こりうる状態です。
だからこそ、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しているのです。
なぜ石英が有効なのか
私たちが使用しているのは溶融石英です。これは非常に「清潔」な素材で、金属不純物の心配がありません。安価なヒーターに使われているガラスとは異なり、何度でも加熱・冷却を繰り返しても割れることはありません。また、迷惑な揮発性有機化合物（VOC）も放出しません。
石英のケースは、まるで金庫のような役割を果たします。タングステンフィラメントをしっかりと封じ込め、何も外部に漏れ出さないのです。
必要な場所に熱を届ける
最も素晴らしい点は、これらのランプが高密度の熱伝達を実現できることです。部屋中の空気を温めるのではなく、赤外線を直接基板に集中させます。そうすれば、HVACシステムの負担も軽減されます。
また、ウェハーがより速く所定の温度に到達し、熱が均一に分布します。 Hot spotの心配もなく、予測も不要です。
取り付け方法と注意点
これらのランプは、既存のブラケットに簡単に取り付けられるように設計されています。端部分を精密に加工しているため、問題なく取り付けられます。
しかし、注意点もあります。高出力の石英ランプは非常に高温になります。電力を最大限に使う場合は、筐体の冷却機能が十分であることを確認する必要があります。ランプの周囲の空気が高温になりすぎると、ワイヤーが焼けたり、シールが壊れたりする可能性があります。
必ず空気の流れを確認してください。熱が筐体に浸透しないようにしなければなりません。そうすれば問題ありません。