半導体製造装置が過熱するのを防ぎましょう。
一般的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。狭い半導体製造装置内では、これは大変な問題です。その余分な熱が内壁に当たり、過熱した部分ができてしまい、装置が損傷したり、最悪の場合、作業員が火傷してしまうこともあります。
しかし、この問題を解決する方法があります。それは、金コーティングされた方向性のあるランプを使用することです。
なぜ金なのか？
聞こえは高級そうですが、実際はとてもシンプルです。石英製のケースの裏側に薄い金の層を塗るのです。金は赤外線光の反射鏡のように作用します。つまり、熱が装置内部に漏れ出すのを防ぎ、ワークピースに向けて熱を集中させるのです。これにより、ランプは単なる加熱器から精密な工具へと変わります。目的の箇所により強い熱が加わりますが、装置内部がオーブンのようになることはありません。
注意すべき点
ただし、注意点もあります。エネルギーを集中させるため、ワークピース上の熱密度が高くなります。そのため、PIDコントローラーの設定には十分注意する必要があります。正確でなければ、目標温度を超えてしまう可能性があります。急速な加熱・冷却に対応するため、高純度の石英を使用しています。また、装置が振動してもランプがずれないように、専用のカバーも用意しています。
ご自身の装置での利用法
最良の点は、重たい断熱材や大型の冷却ファンを使わなくて済むことです。これにより、装置の内部構造がスッキリします。
一つだけアドバイス：配線する際は、金コーティングされた面がプラスチック部品や配線から離れているようにしてください。
また、古い装置にこのランプを取り付ける場合は、電源供給にも注意が必要です。目標領域により強い熱が加わるため、温度上昇の速度を遅くする必要があるかもしれません。急ぎすぎて基板が割れてしまっては元も子もありません。