ウェーハにより多くの熱を与える方法（電力の無駄を避けて）
半導体製造工場で作業する際の目標は単純です。できるだけ多くの熱エネルギーをウェーハの表面に届け、1ワットたりとも無駄にしたくないのです。
しかし、通常のクォーツランプの場合、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。反射板がなければ、エネルギーの半分が装置の筐体を温めるだけで、これは明らかな無駄遣いです。
そこで私たちは、金メッキされた赤外線ランプを使用しています。
なぜ金なのか？
それは見た目の問題ではありません。金は赤外線を効果的に反射する特性を持っているからです。アルミニウムや研磨された鋼鉄よりもはるかに優れています。クォーツケースの裏側に薄い金の層を施すことで、光子を再びターゲットに向けて送り返すことができます。
その結果、ウェーハ上の熱量が実質的に2倍になります。出力を上げることなく、熱密度を大幅に高めることができるのです。
ただし、注意点もあります
エネルギーを集中させると、ランプの筐体に大きな負担がかかります。金メッキにより効率は向上しますが、ランプのシール部分には大きな負荷がかかります。冷却ファンが内部の余分な熱を処理できるかどうかを確認する必要があります。空気の流れが悪ければ、ランプは予想よりも早く壊れてしまいます。
実際の製造ラインでの利用
これらのランプは、既存の硬化処理ラインにそのまま使えるように設計されています。真の鍵は焦点距離にあります。反射板を丁寧に調整することで、「ホットスポット」がウェーハの正中央に位置するようにします。ランプの位置が少しでもずれると、エネルギーの分布が変わり、均一な硬化処理ができなくなります。これは良くありません。
私たちは、ダウンタイムが許されない環境向けにこのランプを開発しています。より均一な熱分布が得られ、硬化処理の時間も大幅に短縮されます。
最後に、金の表面を絶対にきれいに保つことが重要です。反射板に少しでも汚れや酸化があると、効率が瞬時に低下してしまいます。