熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされた反射板がウェーハにとって重要なのか
シリコンウェーハを加熱する際、1ワットずつも大切です。
多くの人々は、一般的な研磨済みステンレス製のハウジングを使用していますが、問題は、そうしたハウジングが余計なエネルギーを吸収してしまうことです。まるで、暗い壁の部屋で薄暗い電球を使って光を得ようとするようなものです。私たちは、この問題を解決するために金コーティングされた反射板を使用します。
金は赤外線の反射率において最も優れています。単に助けてくれるだけでなく、その熱エネルギーをウェーハ表面に直接戻してくれます。
エネルギーを集中させるコツ
通常、工業用ヒーターは熱をあらゆる方向に放出します。高性能な反射板がなければ、消費されるエネルギーの約半分が機械のケース内に失われてしまいます。これは完全な無駄遣いです。
しかし、金を使用することで状況が変わります。ハウジングに薄く高純度の金層を付けることで、熱を内部に閉じ込めることができます。そうすれば、ウェーハ全体に均一な温度が得られ、もう推測する必要はありません。
適切な製造方法（およびそのコスト）
ハウジングはステンレス製で作られており、高温環境下でも変形しないようになっています。そして、真空蒸着法を用いて金をコーティングします。
ただし、注意点があります。清潔さが何よりも重要です。
金の表面にわずかな油やほこりがあっても、ウェーハ上に「冷たい部分」ができてしまいます。そうなると、プロセスの均一性が台無しになります。
実際に使ってみる
このハウジングを取り付けると、目標の温度に到達するのに必要なエネルギーが少なくて済むことに気づくでしょう。
ここで2つの選択肢があります。電力を節約するために出力を下げるか、その効率性を活かして処理速度を上げるかです。どちらを選ぶかはあなた次第です。
ただし、金は非常に柔らかいので、鋼鉄よりもずっと柔らかいです。どうか、装置を傷つけないように、研磨剤を使って洗わないでください。そうすると、コーティングが剥がれてしまい、得られた効率性がすべて失われてしまいます。
単に接続すればよく、PIDコントローラーを調整して増えた熱流量を扱えば、エネルギーがどのように目標に届くかがわかります。