安全を守るために：化学洗浄における赤外線ヒーターの活用
半導体の洗浄作業を行う際、実際には揮発性の溶剤や可燃性の蒸気と共に作業をしていることになります。ちょっとした火花やヒーター部品の微小な亀裂があれば、大きな問題が発生します。非常に危険です。
だからこそ、私たちは単にヒーターを作るだけでなく、耐久性の高いものを作るのです。
保護シェル
石英管をそのまま使うわけにはいきません。それは事故を招く行為です。その代わり、すべてを密閉して、可燃性ガスが熱いフィラメントや電気端子に触れないようにします。
使用する洗浄剤の性質に応じて、高純度の石英や耐久性の高いセラミック複合材でできたシースを使用します。これにより、化学物質が漏れても、液体はシースに当たり、直接電流に触れることはありません。これは簡単な対策ですが、災害を防ぐのに効果的です。
圧力の中でも安定した温度を維持する
温度が急激に変動しないように、サーモカップルをヒーター内に直接設置します。これにより、熱流量をリアルタイムで監視できます。
このセンサーには、通常の電線では不十分なため、鉱物絶縁ケーブルを使用します。これにより、PID制御が正確に機能し、ウェハーの温度が安定します。
利点と欠点
正直に言うと、この保護層を加えると、少し熱伝達が悪くなります。つまり、裸のランプと比べると、直接的な放射熱が少なくなります。
それを補うために、出力を上げます。そうすれば、目標とする処理温度を維持できますが、排気システムが余分な熱に対応できるか確認してください。
私たちは、厳しい環境に耐えられるようにこの装置を製造しています。適切に接地された防爆コントローラーと組み合わせれば、高湿度の環境でも安心して使用できます。