ワットの無駄遣いをやめよう：なぜ金メッキされた反射材が重要なのか
半導体ウェーハの加工を行っている場合、1ワットごとにも意味があります。反射材が十分な効果を発揮できず、高価なエネルギーが機械の筐体内に消費されてしまうのは、本当に腹立たしいことです。
ほとんどの工場では、標準的なアルミニウムを使用しています。それがデフォルトです。しかし問題は、長波長の赤外線に対してはアルミニウムでは不十分だという点です。アルミニウムでは多くのエネルギーが漏れ出てしまいます。
そこで役立つのが金です。
通常の表面を高純度の金メッキに置き換えることで、エネルギーを正しくウェーハに向けることができます。
金とアルミニウムの本当の違い
アルミニウムでも十分ですが、赤外線領域では金の方が優れています。
精密に金メッキを施すことで、反射材自体が熱を吸収することがなくなります。金属製の筐体が熱くなる代わりに、そのエネルギーは直接ウェーハに戻されます。
その結果、より正確な焦点が得られ、ウェーハ全体に均等に熱が分布します。もう推測する必要はありません。
正確な精度を保つ方法
私たちは皆、「冷却不足」の問題に直面したことがあります。それは本当に悩みの種です。
ヒーティングアレイを設定する際、反射材の形状が非常に重要です。私たちは、赤外線を正確に方向づけるために、金メッキされた放物面や楕円形の反射材を使用しています。
これにより、端辺での温度低下が防がれます。もし均一に加熱できないという問題があるなら、それはおそらくこのためです。
注意点と対処法
金は化学的に安定していますが、魔法ではありません。
アルミニウムに比べて酸化に強いですが、汚れには弱いです。少しのほこりや指紋だけで、反射率が大幅に低下してしまいます。表面が汚れていると、エネルギーの流れが途切れてしまいます。
そのため、定期的に清掃を行う必要があります。
もう一つ注意点として、ウェーハにはより集中したエネルギーが加えられるので、冷却板も適切に機能する必要があります。ウェーハの端辺が焼けてしまわないように、正しく設定することが大切です。