クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つのは非常に困難です。たとえ世界で最も優れた空気浄化装置を使っていても、洗浄工程の最中にヒーターから粒子や有害物質が放出されてしまえば意味がありません。そうなると、生産効率が低下してしまいます。
これを防ぐために、私たちは高純度の合成石英を使って防水型の赤外線ランプを製造しています。物理学上の問題として、安価なガラスや低品質の石英では、急激な温度変化に耐えられません。極端な高温から冷たい水へと移行すると、これらの材料は剥がれたり、微細な破片が飛び出したりします。私たちが使用しているのは、膨張や収縮がほとんど起こらない特殊な石英です。そのため、安定して機能し、割れる心配もありません。また、完全に密封されているため、水分がフィラメントに侵入してランプが早く壊れる心配もありません。
これらのランプは、狭い空間に多量の熱を閉じ込めることができます。電圧や長さを調整することで、基板が必要とする正確な赤外線波長を実現できます。
ただし、注意点があります。これらのランプは非常に高温になるため、取り付け用のブラケットをしっかりチェックする必要があります。安価な合金を使用していると、ランプの熱でブラケットが加熱され、結果としてクリーンルーム内に汚染物質が混入してしまいます。これでは本末転倒です。
もし、洗浄工程で使用されるヒーターの代替品を探しているのであれば、これらのランプが最適です。配線も簡単です。
ただ一つ覚えておくべきことがあります。高純度の石英は、強化された石英よりも少しもろいのです。**絶対に素手で触ってはいけません。**皮膚から出る油分が熱源となり、それが原因で亀裂が生じます。設置時には、必ず触らないように注意しましょう。
もし、ご自身の工程で1マイクロメートル以下の粉塵さえも許容できないのであれば、これらのランプが最適です。高い熱性能で、汚れも一切ありません。